噴印 / 噴塗 / 旋塗

SAWATEC 微影製程設備

Cluster systems : CS series

[簡介&摘要]

Cluser System 是全自動 cassette-to-cassette 應用方案。 模組化 CS 系列由晶圓傳送機械手臂做傳送,搭配光學式晶圓尋邊器和三個製程站所組成。我們依照標準製程程序,開發了合適的配置。

由於模組化與靈活的設計,CS 系列可依照客戶生產條件,客製化解決方案 (Challenger series)

[適用產業&應用範圍]

半導體,發光二極體,模組及其他等。

[規格&型號]
CS-200-4 pioneer
iSPRAY-200/ SMD 200 or SMD-200-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate

CS-200-4 sirius 
SM-200/ SMD 200 or SMD-200-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate

CS-300-4 explorer
SM-300/ SMD 300 or SMD-300-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate

CS-300-4 orbiter 
iSPRAY-300/ SMD 300 or SMD-300-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate