模組

Sawatec 微影製程設備

Spin Modules : SM series

[簡介&摘要]

旋轉塗佈機 SM系列是手動或半自動薄膜塗佈的最佳選擇,適用於表面沒有或有非常矮結構的晶圓或基板塗佈作業。所有市面上的光阻與塗層材料都可應用。適用產品尺寸,從樣品尺寸 8mm 到12" 晶圓,皆可使用。  

SM 系列的優點在於,具有令人信賴的膜厚均一性和製程重複性,並且操作簡單。為了使花費在製程區清潔上的時間最小化,SAWATEC 開發了一種非常實用且經濟的製程區保護碗。製程結束後,可以簡單地移除此保護碗,節省清節保養時間。經由高品質設計,也可以將維護成本最小化。因此,SAWATEC旋塗機可被優先應用於實驗室,研發與小批量生產。
該旋塗機可提供便攜桌上型、內嵌式和落地型。

功能(基本配置)
- 可編程,最多 50 個程式 (各包含 24 個程序段)
- 適用於重複製程的快速啟動功能
- 觸控面板控制,方便使用者程序配置
- 工藝參數:轉速、加速度、製程時間
- 旋轉方向可選 (順時針、逆時針)
- 通過具有安全保護的真空系統進行基板固定
- 製程結束時的提醒聲音信號

性能數據
- 轉速範圍:0 到 10,000rpm +/-1rpm
- 轉速加速度:0–8,000rpm 為0.8秒/0–10,000rpm 為1秒 
- 減速度:10,000rpm-0 為2.5秒/8,000rpm-0 為0.8秒 
- 工藝時間最長為 2376 s
- 每個程序段的供膠時間為 99 s

 

[適用產業&應用範圍]

半導體,發光二極體,模組及其他等。

[規格&型號]

SM-150/SM-200/SM-300/SM-600/SM-900

SM-150 對應150mm圓形/5" x 5"方形基板

SM-200 對應200mm圓形/6" x 6"方形基板

SM-300 對應300mm圓形/8" x 8"方形基板

SM-600 對應600mm圓形/16" x 16"方形基板

SM-900 對應900mm圓形/24" x 24"方形基板

真空吸盤尺寸

- 真空吸盤試樣
- 真空吸盤1“至3”圓
- 真空吸盤100mm(4“)至150mm(6”)
- 真空吸盤100x100mm(4“x4”)
- 真空吸盤125x125mm(5“x5”)

[選配]
- 半自動的管式供膠系統,配有手動供膠手臂和回吸功能的 50ml 玻璃注射管
- 製程區的手動氮氣淨化裝置
- 用於簡化操作的“啟動/停止”腳踏開關(電纜長度 1.8m)
- 經陽極電鍍處理的鋁製製程區
- 鋁製或 PE(聚乙烯)材料製成的製程區保護碗
- 用於 SM-150 旋塗機的真空泵
- 晶圓定位器 2”–6”(圓形)